DIN 50441-4-1987 半导体工艺用材料的检验.半导体圆片几何尺寸的测量.圆片直径和扁片厚度
作者:标准资料网
时间:2024-05-02 14:20:34
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【英文标准名称】:Testingofmaterialsforsemiconductortechnology;measurementofthegeometricdimensionsofsemiconductorslices;diameterandflatdepthofslices
【原文标准名称】:半导体工艺用材料的检验.半导体圆片几何尺寸的测量.圆片直径和扁片厚度
【标准号】:DIN50441-4-1987
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:1987-07
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:半导体;无损检验;材料;试验;半导体工艺;规范(审批);定义;测量;高度;检验;厚度测量;厚度;试验设备;直径测量;直径
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_040_30
【页数】:4P;A4
【正文语种】:德语
【原文标准名称】:半导体工艺用材料的检验.半导体圆片几何尺寸的测量.圆片直径和扁片厚度
【标准号】:DIN50441-4-1987
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:1987-07
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:半导体;无损检验;材料;试验;半导体工艺;规范(审批);定义;测量;高度;检验;厚度测量;厚度;试验设备;直径测量;直径
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_040_30
【页数】:4P;A4
【正文语种】:德语
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